เมื่อวิศวกรออกแบบเครื่องกลก้าวข้ามขอบเขตของการกำหนดตำแหน่งด้วยความเร็วสูง- ในที่สุดพวกเขาก็ประสบปัญหาคอขวด นั่นคืออัตราส่วนน้ำหนัก-ต่อ-ความแข็งของส่วนประกอบที่เคลื่อนไหว แม้ว่าหินแกรนิตสีดำธรรมชาติจะเป็นตัวเลือกที่สมบูรณ์แบบสำหรับฐานเครื่องจักรที่อยู่กับที่เนื่องจากมีมวลและการรองรับ แต่น้ำหนักที่หนักของหินแกรนิตนั้นอาจกลายเป็นภาระสำหรับโครงสำหรับตั้งสิ่งของที่เคลื่อนที่ด้วยความเร่งสูง-หรือแกนหมุนของแกน Z- ในสถานการณ์เหล่านี้ เซรามิกอุตสาหกรรมขั้นสูง-เช่น อลูมินา (Al2O3) และซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC)-กลายเป็นทางเลือกหลัก
ความแข็ง-ถึง-อัตราส่วนน้ำหนัก: ข้อดีของเซรามิก
สำหรับขาสแกนที่มีความเร็วสูง- วัสดุในอุดมคติจะต้องมีความแข็งมาก (เพื่อต้านทานการโค้งงอภายใต้ความเร่ง) แต่มีน้ำหนักเบามาก (เพื่อลดภาระของมอเตอร์และการสร้างความร้อนให้เหลือน้อยที่สุด) วิศวกรพิจารณาความแข็งจำเพาะ ซึ่งคำนวณโดยโมดูลัสยืดหยุ่น (E) หารด้วยความหนาแน่น (d):
| วัสดุ | โมดูลัสยืดหยุ่น (GPa) | ความหนาแน่น (g/cm3) | ความแข็งเฉพาะ (GPa⋅cm3/g) | ปัจจัยต้นทุนสัมพัทธ์ |
| หินแกรนิตสีดำธรรมชาติ | 95 | 3.1 | 30.6 | ★ (พื้นฐาน) |
| อลูมินา เซรามิค (Al2O3 99%) | 370 | 3.9 | 94.8 | ★★★★☆ |
| ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) | 450 | 3.2 | 140.6 | ★★★★★ |
| โครงสร้างอลูมิเนียม | 70 | 2.7 | 25.9 | ★☆☆☆☆ |
ตามที่ตารางแสดงให้เห็น ซิลิคอนคาร์ไบด์มีความแข็งจำเพาะสูงกว่าความแข็งจำเพาะเกือบห้าเท่าหินแกรนิตธรรมชาติหรืออลูมิเนียม ซึ่งหมายความว่าคานโครงสำหรับตั้งสิ่งของซิลิคอนคาร์ไบด์สามารถออกแบบให้มีน้ำหนักเบาและบางอย่างไม่น่าเชื่อ แต่ยังโค้งงอได้แทบเป็นศูนย์ภายใต้การเร่งความเร็วสูง-
ประสิทธิภาพการระบายความร้อนและสิ่งแวดล้อม
แม้ว่าหินแกรนิตธรรมชาติจะมีคุณสมบัติทางความร้อนที่ดีเยี่ยม แต่ซิลิคอนคาร์ไบด์ก็มีคุณสมบัติการนำความร้อนสูงเป็นพิเศษเมื่อจับคู่กับ CTE ที่ต่ำมาก ช่วยให้ความร้อนเฉพาะจุด (เช่น จากมอเตอร์แนวราบ) กระจายอย่างรวดเร็วทั่วทั้งชิ้นส่วน ขจัดจุดความร้อนและการบิดงอที่ไม่สม่ำเสมอ
การตัดสินใจเลือก: หินแกรนิตหรือเซรามิค?
เมื่อใดควรใช้หินแกรนิตที่มีความแม่นยำ:
ฐานและเสาเครื่องจักรแบบอยู่กับที่: น้ำหนักที่มากเป็นประโยชน์อย่างยิ่งในที่นี้ เนื่องจากมีจุดยึดเฉื่อยที่มั่นคงซึ่งทนทานต่อการสั่นสะเทือนของพื้นภายนอก
ต้นทุน-ความแม่นยำที่ละเอียดอ่อน: หินแกรนิตธรรมชาติมีความคุ้มค่ามากกว่า-มากสำหรับเหมืองหิน เครื่องจักร และตัก โดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับโครงสร้างขนาดใหญ่
ระยะเวลาดำเนินการที่สั้น: โครงสร้างเซรามิกขนาดใหญ่ต้องใช้เตาอบซินเทอร์แบบพิเศษและกระบวนการเจียรเพชรที่กว้างขวาง- ส่งผลให้ระยะเวลารอคอยในการผลิตนานขึ้น
เมื่อใดควรอัพเกรดเป็นเซรามิกอุตสาหกรรม:
ขายึดที่เคลื่อนที่ด้วยความเร็วสูง-: การลดมวลของลำแสงที่กำลังเคลื่อนที่ด้วยเซรามิกจะช่วยลดการใช้พลังงาน ความร้อนของมอเตอร์ และรอบเวลา
สภาพแวดล้อมทางเคมี/สุญญากาศที่รุนแรง: เซรามิกขั้นสูงมีความพรุนเกือบ-เป็นศูนย์ และมีความทนทานสูงต่อพลาสมาที่มีฤทธิ์กัดกร่อนหรือสารเคมีทำความสะอาดที่ใช้ในการผลิตแผ่นเวเฟอร์
การทำงานที่อุณหภูมิสูง-: เซรามิกสามารถทนต่ออุณหภูมิที่เกิน 1000 องศา โดยไม่ทำให้โครงสร้างพังหรือคืบคลาน
การออกแบบที่สอดคล้องกัน: เครื่องจักรที่มีความแม่นยำสูงพิเศษ-สมัยใหม่มักใช้การออกแบบแบบไฮบริด: ฐานหินแกรนิตสีดำ UNPARALLELED® ที่หนักและมีเสถียรภาพสูง รวมกับคานขวางซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่แข็งเป็นพิเศษ- ทำให้เกิดความสมดุลระหว่างเสถียรภาพและสมรรถนะแบบไดนามิก






