หินแกรนิตและเซรามิกมีการใช้กันอย่างแพร่หลายในงานวิศวกรรมที่มีความแม่นยำ หินแกรนิตให้การหน่วงและประสิทธิภาพด้านต้นทุนที่เหนือกว่า ในขณะที่เซรามิกมีความแข็งสูงกว่าและมีเสถียรภาพทางความร้อนที่ดีกว่า การเลือกวัสดุขึ้นอยู่กับความต้องการของระบบมากกว่าประสิทธิภาพที่แท้จริง
ในการออกแบบเครื่องจักรที่มีความแม่นยำ การเลือกใช้วัสดุส่งผลโดยตรงต่อความเสถียรของระบบ ความแม่นยำ และ-ความสามารถในการทำซ้ำในระยะยาว วัสดุโครงสร้างที่ไม่ใช่โลหะ-สองชนิดที่ใช้กันอย่างแพร่หลายที่สุดคือหินแกรนิตและเซรามิกทางเทคนิค
หินแกรนิตเป็นวัสดุธรรมชาติที่มีคุณสมบัติดูดซับแรงสั่นสะเทือนได้ดีเยี่ยม โครงสร้างผลึกภายในช่วยกระจายพลังงานกล ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับฐานเครื่องขนาดใหญ่และแพลตฟอร์มการเคลื่อนไหว
วัสดุเซรามิก ซึ่งโดยทั่วไปได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมจากอลูมินาหรือซิลิคอนคาร์ไบด์ มีความแข็งสูงมากและมีการขยายตัวทางความร้อนต่ำมาก อย่างไรก็ตาม พวกมันเปราะกว่าและมีราคาแพงกว่ามากในการผลิต โดยเฉพาะในขนาดใหญ่
เนื่องจากความแตกต่างเหล่านี้ หินแกรนิตและเซรามิกจึงแทบไม่ได้ใช้ทดแทนโดยตรง แต่จะถูกเลือกตามขนาดระบบและลำดับความสำคัญของประสิทธิภาพ
หินแกรนิตมักใช้ใน:
- เครื่อง CMM ขนาดใหญ่
- ฐานทางกลของเซมิคอนดักเตอร์
- แพลตฟอร์มการเคลื่อนไหวทางอุตสาหกรรม
เซรามิกส์มักใช้ใน:
- ระบบตรวจสอบเวเฟอร์
- ขั้นตอนการจัดตำแหน่งด้วยแสง
- หน่วยกำหนดตำแหน่งที่มีความแม่นยำสูงพิเศษ-
กระบวนการผลิตก็มีความแตกต่างกันอย่างมากเช่นกัน หินแกรนิตถูกสร้างขึ้นผ่านการบดและการขัด ทำให้มีส่วนประกอบทางโครงสร้างขนาดใหญ่- ส่วนประกอบเซรามิกต้องการการเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง-และการตัดเฉือนที่มีความแม่นยำหลังการเผา
ภาพรวมการเปรียบเทียบ:
หินแกรนิต: การหน่วงสูง ขนาดที่ปรับขนาดได้ ความเสถียรทางความร้อนปานกลาง
เซรามิก: มีความแข็งสูงเป็นพิเศษ- มีเสถียรภาพทางความร้อนดีเยี่ยม มีขนาดจำกัด
คำถามที่พบบ่อย:
ไหนดีกว่าสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์?
ทั้งสองใช้ขึ้นอยู่กับข้อกำหนดของระบบย่อย
หินแกรนิตมีความแม่นยำเพียงพอสำหรับการตัดเฉือนระดับไมครอน-หรือไม่
ใช่ ด้วยการขัดที่แม่นยำ
เซรามิกเปราะบางหรือไม่?
เมื่อเทียบกับหินแกรนิตใช่
ทำไมไม่เปลี่ยนหินแกรนิตใหม่ทั้งหมดล่ะ?
เนื่องจากต้นทุนและความได้เปรียบในการทำให้หมาด ๆ
สามารถรวมกันเป็นระบบเดียวได้หรือไม่?
ใช่ โครงสร้างแบบไฮบริดเป็นเรื่องธรรมดา
วัสดุใดมีเสถียรภาพในระยะยาวมากกว่า?
เซรามิกมีความเสถียรทางความร้อนมากกว่า หินแกรนิตมีกลไกในการให้อภัยมากกว่า