ในห้องปลอดเชื้อ อนุภาคขนาดไมครอนเพียงอนุภาคเดียวอาจทำให้เกิดเศษแผ่นเวเฟอร์หรือความเสียหายของเลนส์ได้ ในระหว่างขั้นตอนการออกแบบและการเลือกส่วนประกอบสำหรับการตรวจสอบเซมิคอนดักเตอร์ การผลิตเพอร์รอฟสไกต์ และอุปกรณ์ AOI ที่มีความแม่นยำสูง ผู้ผลิตเครื่องจักรจะประเมินโครงสร้างโครงสำหรับตั้งสิ่งของไม่เพียงแต่สำหรับความแข็งแกร่งของโครงสร้างและความเสถียรทางความร้อนเท่านั้น แต่ยังรวมถึงว่าซับสเตรตจะกลายเป็นแหล่งอนุภาคภายในภายในสภาพแวดล้อมที่สะอาดหรือไม่ โครงยึดโลหะแบบดั้งเดิมมีแนวโน้มที่จะสึกกร่อนและหลุดร่อนเศษโลหะขนาดเล็ก ในขณะที่สารเคลือบโพลีเมอร์หลายชนิดมีความเสี่ยงที่จะเกิดแก๊สออกมาเมื่ออายุมากขึ้น โครงสำหรับตั้งสิ่งของหินแกรนิตที่ใช้กับอุปกรณ์ห้องคลีนรูมโดยเฉพาะเป็นโซลูชันโครงสร้างแบบบูรณาการที่มีความแม่นยำสูงพิเศษซึ่งพัฒนาโดย UNPARALLELED Group สำหรับสภาพการทำงานที่สะอาด ตอบสนองข้อกำหนดหลักสองประการด้านความแม่นยำสูงและการควบคุมการปนเปื้อน
หลายๆ คนยังคงยึดหลักการที่ว่าหินสร้างฝุ่นได้ง่ายและดักจับอนุภาคภายในรูขุมขน ซึ่งอธิบายได้ว่าทำไมส่วนประกอบหินแกรนิตธรรมดาจึงไม่สามารถนำมาใช้ในสายการผลิตที่สะอาดคุณภาพสูงได้ การตัดเฉือนหินแบบทั่วไปมุ่งเน้นไปที่ความแม่นยำทางเรขาคณิตเท่านั้น โดยไม่สนับสนุนขั้นตอนการทำความสะอาดที่สะอาด ผงบดขนาดเล็กติดอยู่ในรูเล็กๆ บนพื้นผิวของหินดิบ และการสั่นสะเทือนบวกกับการรบกวนการไหลของอากาศระหว่างการทำงานของอุปกรณ์จะไล่อนุภาคออกอย่างต่อเนื่องและลดความสะอาดของห้องสะอาด ในทางตรงกันข้าม โครงหินแกรนิตเฉพาะสำหรับห้องคลีนรูมใช้เกณฑ์การคัดเลือกวัสดุที่เป็นอิสระโดยเริ่มจากการคัดกรองหินดิบ หินที่มีรูพรุนและหินหลวมจะถูกกำจัดออกไป และเลือกหินแกรนิตสีดำ UNPARALLELED® ที่มีความหนาแน่นสูงเป็นวัสดุฐาน เพื่อลดโอกาสที่ฝุ่นจะดักจับจากแหล่งวัสดุ
ขั้นตอนการผลิตทั้งหมดแตกต่างอย่างสิ้นเชิงจากการผลิตส่วนประกอบหินแกรนิตมาตรฐาน มีการใช้การประมวลผลแบบเปียกตลอดทั้งการตัดเฉือนหยาบและละเอียด ฝุ่นหินที่เกิดขึ้นระหว่างการตัดจะถูกชะล้างออกไปด้วยสารหล่อเย็นทันที เพื่อป้องกันไม่ให้อนุภาคละเอียดแทรกซึมเข้าไปในไมโครพอร์ของหิน หลังการตัดเฉือน จะมีการดำเนินการขั้นตอนการปิดผนึกและการสร้างฟิล์มหลายครั้งเพื่อปิดผนึกช่องว่างขนาดเล็กมากบนพื้นผิวหินแกรนิต และปิดกั้นเส้นทางดักจับฝุ่น จากนั้นพื้นผิวจะถูกประมวลผลด้วยการขัดเงากระจกที่มีความแม่นยำสูงเป็นพิเศษเพื่อสร้างพื้นผิวที่มีความหนาแน่นและมีการยึดเกาะต่ำ พื้นผิวเรียบแทบไม่เกาะฝุ่นในอากาศ และสามารถทำความสะอาดได้ง่ายๆ ด้วยผ้าเช็ดทำความสะอาดที่ไม่เป็นขุย โดยไม่ทำให้ผงหลุดระหว่างเช็ด นอกจากนี้ ตัววัสดุเองไม่ปล่อยสารระเหยและหลีกเลี่ยงการปนเปื้อนของก๊าซ VOC ที่พบได้ทั่วไปในวัสดุอินทรีย์ ทำให้เหมาะสำหรับห้องสะอาดของเซมิคอนดักเตอร์ที่ไวต่อมลพิษที่เป็นก๊าซ
นอกเหนือจากการรักษาพื้นผิวหินแล้ว การออกแบบโครงสร้างยังได้รับการปรับปรุงเป็นพิเศษสำหรับสถานการณ์ในห้องคลีนรูม วิศวกรที่ไม่มีใครเทียบได้ลดความซับซ้อนของร่องที่ซับซ้อน ร่องแคบ และมุมที่ลึกในระหว่างการออกแบบโครงสำหรับตั้งสิ่งของ เพื่อลดโซนการสะสมของฝุ่น เคาน์เตอร์บอร์และข้อต่อประกบทั้งหมดมีลักษณะโค้งมน และใช้ตัวยึดแบบซ่อนเพื่อลดจุดดักฝุ่นให้มากที่สุด การประกอบโครงสำหรับตั้งสิ่งของไม่ได้ดำเนินการในเวิร์คช็อปทั่วไป ในทางกลับกัน การประสานและการประกอบชิ้นส่วนล่วงหน้าจะเสร็จสิ้นในเวิร์กช็อปการประกอบชิ้นส่วนที่สะอาดที่อุณหภูมิคงที่และมีความชื้นคงที่โดยเฉพาะ การดำเนินการทั้งหมดเป็นไปตามข้อกำหนดเฉพาะของห้องคลีนรูม เพื่อป้องกันไม่ให้สิ่งปนเปื้อนแปลกปลอมถูกปิดผนึกภายในช่องว่างของส่วนประกอบระหว่างการประกอบ
นอกเหนือจากประสิทธิภาพที่สะอาดแล้ว ยังคงรักษาข้อดีหลักของหินแกรนิตไว้เป็นฐานอ้างอิงที่มีความแม่นยำ ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อนต่ำและคุณสมบัติการลดการสั่นสะเทือนที่ทำให้หมาด ๆ ช่วยให้โครงสำหรับตั้งสิ่งของสามารถต้านทานการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิและการรบกวนการสั่นสะเทือนในระหว่างการทำงานของห้องปลอดเชื้ออย่างต่อเนื่อง รับประกันความแม่นยำของตำแหน่งสำหรับการตรวจสอบด้วยแสงและระยะมอเตอร์เชิงเส้นตรง XY อุปกรณ์คลีนไลน์จำนวนมากทำงานอย่างต่อเนื่องเป็นเวลานานหลายชั่วโมง โครงสร้างโลหะเปลี่ยนรูปได้ง่ายภายใต้การเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิ ในขณะที่โครงหินแกรนิตเกรดห้องปลอดเชื้อหลังจากอายุการรักษาเสถียรภาพจะรักษาความเรียบอ้างอิงในระยะยาวเพื่อรองรับงานตรวจสอบระดับนาโนอย่างสม่ำเสมอ
มีการทดสอบการตรวจสอบความสะอาดแบบพิเศษก่อนจัดส่ง การปล่อยอนุภาคจะได้รับการตรวจสอบอย่างต่อเนื่องภายใต้สภาวะจำลองการไหลของอากาศที่สะอาด การส่งมอบจะได้รับการอนุมัติหลังจากที่ตัวบ่งชี้การปล่อยอนุภาคมีคุณสมบัติตรงตามข้อกำหนดเท่านั้น โซลูชันนี้ถูกนำไปใช้อย่างกว้างขวางในโครงการสำหรับเครื่องตรวจสอบเซมิคอนดักเตอร์ เครื่องตรวจจับเอ็กซ์เรย์ ระบบการตรวจสอบด้วยแสง AOI และอุปกรณ์เคลือบเปอร์รอฟสไกต์ และเครื่องจักรที่มีความแม่นยำประเภทสะอาดอื่นๆ
ห้องสะอาดเป็นโครงการทางวิศวกรรมที่เป็นระบบ ซึ่งส่วนประกอบใดๆ อาจกลายเป็นจุดอ่อนสำหรับมาตรฐานความสะอาดได้ โครงหินแกรนิตสำหรับอุปกรณ์เฉพาะทางสำหรับห้องคลีนรูม ทำลายการรับรู้ที่มีมายาวนานว่าหินไม่เข้ากันกับสภาพแวดล้อมที่สะอาด ผ่านระบบกระบวนการที่สมบูรณ์ซึ่งรวมถึงการคัดกรองวัตถุดิบ การรักษาพื้นผิวแบบพิเศษ การประกอบที่สะอาด และการตรวจสอบความสะอาด UNPARALLELED Group ผสมผสานความแม่นยำและความเสถียรสูงของหินแกรนิตเข้ากับข้อกำหนดของห้องสะอาดที่เข้มงวด ส่งมอบฐานการเคลื่อนที่หลักพร้อมทั้งประสิทธิภาพของโครงสร้างและการประกันการปนเปื้อนสำหรับอุปกรณ์ที่มีความแม่นยำสูงพิเศษที่สะอาดระดับสูง