กระบวนการเซาะร่องแบบกำหนดเองสำหรับแบริ่งอากาศหินแกรนิตเพื่อให้แน่ใจว่ามีการไหลเวียนของอากาศที่สม่ำเสมอและแรงดันอากาศเอาท์พุต-ระยะยาวที่เสถียร

แท่นเลเซอร์เฟมโตวินาที มอเตอร์เชิงเส้น XY เซมิคอนดักเตอร์ และ CMM ที่มีความแม่นยำสูง-กำหนดข้อกำหนดด้านความเรียบที่เข้มงวดยิ่งขึ้นสำหรับตลับลูกปืนลมหินแกรนิต ความผันผวนเล็กน้อยของความดันฟิล์มอากาศทำให้เกิดการสั่นสะเทือนและความสามารถในการทำซ้ำของตำแหน่งเคลื่อนไป การกลึงร่องที่ได้มาตรฐานทั่วไปทำให้มีความสามารถในการปรับตัวได้ไม่ดี รูปร่างร่อง ความลึก และโครงร่างที่รวมเป็นหนึ่งไม่ตรงกับน้ำหนัก จังหวะ และสภาวะการจ่ายอากาศที่แตกต่างกัน ส่งผลให้เกิดการไหลเวียนของอากาศในพื้นที่ การรั่วไหลของอากาศที่ขอบอย่างรวดเร็ว และ-การอุดตันของฝุ่นในระยะยาว ในขณะที่การลอยสม่ำเสมอทำงานได้ในช่วงสั้นๆ ความกดอากาศจะลดลงหลังจากใช้งานต่อเนื่องหลายร้อยชั่วโมง ส่งผลให้ผลผลิตในสายการตรวจสอบและการพิมพ์หินลดลง ด้วยห้องปฏิบัติการจำลองของเหลว CFD ไลน์การกัดแบบไร้ฝุ่น-ที่มีความแม่นยำระดับ 10,000 และ-แท่นทดสอบวงจรอากาศที่พัฒนาขึ้นเอง UNPARALLELED ได้พัฒนากระบวนการเซาะร่องแบบกำหนดเองเต็มรูปแบบสำหรับฐานลูกปืนอากาศหินแกรนิตหนาแน่น 3100 กก./ลบ.ม.- ของเรา การควบคุมกระบวนการ-เต็มรูปแบบ รวมถึงการสร้างแบบจำลองการจำลอง การกัด-ไมโคร-แบบไร้ฝุ่น และการทดสอบสมดุลการไหลเวียนของอากาศแบบหลาย-ขั้น ช่วยให้มั่นใจได้ถึงการไหลเวียนของอากาศที่สม่ำเสมอและแรงดันอากาศที่สม่ำเสมอตลอดชั่วโมงการทำงานนับหมื่น
1. ข้อบกพร่องที่สำคัญสามประการของการเซาะร่องทั่วไปที่นำไปสู่ความไม่สมดุลของแรงดัน
หินแกรนิตที่มีความหนาแน่นสูง-เปราะต้องใช้ร่องไมโคร-ขนาดไมครอนสำหรับพื้นผิวที่มีลูกปืนลม แต่การตัดเฉือนแบบทั่วไปก็มีข้อบกพร่องโดยธรรมชาติ:
เค้าโครงร่องที่เหมือนกันทำให้เกิดการกระจายการไหลของอากาศที่ไม่สม่ำเสมอ: ร่องที่เท่ากันตรงทำให้เกิดการจ่ายอากาศไม่เพียงพอภายใต้ภาระหนักและการรั่วไหลมากเกินไปที่ขอบรับน้ำหนักเบา- ส่งผลให้ฟิล์มอากาศมีความหนาไม่เท่ากันและ-การเคลื่อนที่ของแท่ง
ความไม่ถูกต้องของการตัดเฉือนทำให้เกิดการไหลเชี่ยว: ก้นร่องที่กระเพื่อม ครีบ และความลึกที่ยอมรับได้-ของ- ทำให้เกิดความปั่นป่วน การแกว่งของแรงดันคงที่ และการสึกหรอของปากที่เร่งขึ้น
ร่องตื้นแบบเปิดดักจับฝุ่นได้ง่าย: หากไม่มีตัวกั้นการไหลแบบปิด ฝุ่นจากโรงงานที่มีขนาดเล็กจะสะสมและทำให้ช่องการไหลแคบลงเมื่อเวลาผ่านไป ขณะเดียวกันก็ทำความสะอาดรอยขีดข่วนพื้นผิวที่มีความแม่นยำสูง-
ผู้ผลิตส่วนใหญ่มุ่งเน้นเฉพาะการขึ้นรูปร่องโดยไม่มีการปรับแต่งไดนามิกของไหลให้เหมาะสม จึงไม่สามารถตอบสนองความต้องการในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต่อเนื่องทุกวันตลอด 24 ชั่วโมง
2. การออกแบบเค้าโครง Groove แบบกำหนดเองล่วงหน้า-
ห้องปฏิบัติการกระบวนการของเราสร้างแบบจำลองการไหลเวียนของอากาศ CFD อิสระสำหรับตลับลูกปืนลมแต่ละตัวโดยพิจารณาจากน้ำหนักบรรทุก พื้นที่ลอย ความดันอากาศ และระยะการเคลื่อนที่ โดยการออกแบบร่องที่ปรับให้เหมาะสมสามประเภท:
แถบเลื่อนความเร็วสูง-ขนาดเล็ก (น้อยกว่าหรือเท่ากับ 50 กก.): ร่องปรับสมดุลขนาดเล็กแบบดาวรัศมี ลึก 0.08–0.12 มม. ขจัดจุดตายของแรงดันระหว่างการเคลื่อนกลับด้วยความเร็วสูง-
เส้นนำเชิงเส้นตรงขนาดกลาง (50–300 กก.): ร่องที่เชื่อมต่อกันเป็นรูปบันได- ซึ่งสร้างสมดุลการไหลเวียนของอากาศเพื่อจำกัดความแตกต่างของแรงดันโดยรวมภายใน ±0.002MPa
Large heavy-duty platforms (>300กก. ยาว 2–20ม.): ร่องแบบรังผึ้งปิด-ทำให้การไหลเวียนเท่ากันและป้องกันการระบายลมอย่างรวดเร็วที่ปลายทั้งสองข้าง
ความกว้าง ความลึก และระยะพิทช์ของร่องทั้งหมดอยู่ที่พิกัดความเผื่อ ±0.005 มม. ทางเดินของร่องหลีกเลี่ยงขอบเขตของเกรนตามธรรมชาติ และเลือกช่องว่างที่ไม่มีรอยร้าวของไอออน-{3}}ไว้ล่วงหน้าเพื่อป้องกันการบิ่นระหว่างการตัดเฉือน
3. การแบ่งส่วนฝุ่น-ฟรีไมโคร-การกัดเพื่อให้ได้เสี้ยนที่ราบรื่น-ร่องฟรี
การเซาะร่องทั้งหมดเกิดขึ้นในห้องปลอดเชื้อที่มีการควบคุมความชื้น-โดยใช้โลหะ- หัวกัดเพชรขนาดเล็กที่ปราศจากโลหะ ผ่านการตัดเฉือนที่มีความแม่นยำสาม-ขั้นตอน:
การกลึงร่องหยาบ: การตัดโดยใช้อัตราป้อนต่ำ-เป็นชั้น (ความลึกสูงสุด 0.03 มม. ต่อการผ่าน) เพื่อลดความเครียดจากความร้อน
การตกแต่งแก้มยาง: หัวกัดที่ขึ้นรูปจะขจัดขั้นและครีบสำหรับ Ra ความหยาบของแก้มยางน้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.02μm
การขัดเงาด้านล่างแบบนาโน: ไม่มีพื้นผิว- พื้นเป็นร่องได้ระดับเพื่อให้ก๊าซไหลได้โดยไม่มีสิ่งกีดขวาง
น้ำ DI เกรดเซมิคอนดักเตอร์-ทำหน้าที่เป็นสารหล่อเย็น การทำความสะอาดอัลตราโซนิกสาม-ขั้นตอนจะขจัดฝุ่นหิน ตามด้วย-ฝุ่นที่มีอุณหภูมิสูง-ทำให้แห้งและปิดผนึกโดยไม่ใช้ เพื่อกำจัดสิ่งปนเปื้อนภายใน
4. การทดสอบการปรับสมดุลของวงจรอากาศเพื่อตรวจสอบ-ความเสถียรของแรงดันในระยะยาว
ชิ้นงานที่เสร็จแล้วได้รับการตรวจสอบความถูกต้องแบบคู่โดยจำลองการทำงานต่อเนื่องตลอด 24 ชั่วโมง:
การสแกนแรงดันเต็มพื้นที่-: เซ็นเซอร์หลาย-จุดตรวจจับการไหลเวียนของอากาศที่ไม่สม่ำเสมอ ชิ้นส่วนที่ไม่ผ่านการรับรองจะถูกทำใหม่
การปั่นจักรยานเพื่อความทนทานเป็นเวลา 72 ชั่วโมง: ความผันผวนของแรงดันจะถูกควบคุมต่ำกว่า 0.5% โดยไม่มีการรั่วไหลทีละน้อย
ร่องจำกัดการไหลบริเวณขอบที่เป็นกรรมสิทธิ์ช่วยลดการหลบหนีของอากาศที่ขอบอย่างรวดเร็ว และยืดอายุการทำงานที่มั่นคง
5. ประโยชน์จากการผลิตจำนวนมาก
เทคโนโลยีการเซาะร่องแบบกำหนดเองนี้ถูกนำไปใช้อย่างกว้างขวางกับขั้นตอนการพิมพ์หินเซมิคอนดักเตอร์ แกนเชิงเส้นตรงเลเซอร์ femtosecond และฐานอ้างอิงมาตรวิทยา เมื่อเปรียบเทียบกับการเซาะร่องแบบมาตรฐาน ตลับลูกปืนลมจะมีการสั่นสะเทือน-โดยไม่มีการติด- ลื่น โดยมีการสลายของแรงดันเล็กน้อยหลังจาก 10,000 ชั่วโมง ส่งผลให้ลูกค้าสอบเทียบความถี่ปกติลดลง
กลุ่มผลิตภัณฑ์หินแกรนิตเฉพาะของเราทั้งสี่สายผสมผสานการจำลองการเซาะร่องและอุปกรณ์โม่-ขนาดเล็กสำหรับส่วนประกอบตลับลูกปืนอากาศที่มีรูปทรงพิเศษ- รูปร่างพิเศษ- ยาวและหนัก- แบบกำหนดเอง จัดหาผลิตภัณฑ์ให้กับ Samsung, Akribis, SCHUNK และสถาบันมาตรวิทยาระดับโลกได้อย่างน่าเชื่อถือด้วย-ความแม่นยำในระยะยาวที่พิสูจน์แล้ว
มุมมองด้านเทคนิคและปรัชญาองค์กร
โดยทั่วไป อุตสาหกรรมถือว่าการเซาะร่องเป็นขั้นตอนการตัดง่ายๆ โดยไม่สนใจผลกระทบที่เด็ดขาดต่อ-ความเสถียรของตลับลูกปืนอากาศในระยะยาว ด้วยการปฏิบัติตามมาตรฐานคุณภาพของเรา UNPARALLELED จึงผสมผสานการจำลองของไหล การตัดเฉือนระดับไมครอน และการทดสอบความทนทานเข้ากับการผลิตตลับลูกปืนลมที่ได้มาตรฐาน เพื่อเติมเต็มช่องว่างทางเทคนิคในการเซาะร่องแบบกำหนดเอง
ทีม R&D ของเราจะปรับอัลกอริธึมการจำลองอัจฉริยะให้เหมาะสมเพื่อสร้างการวาดร่องที่เหมาะสมโดยอัตโนมัติ และพัฒนาร่องคอมโพสิตกันฝุ่น{0}}ในตัวเพื่อยืดระยะเวลาการบำรุงรักษา กระบวนการที่มีความแม่นยำพิเศษ-ที่กำหนดเองครบชุดจะรักษาความกดอากาศที่สม่ำเสมอและคงที่ เพิ่มความแม่นยำในการเคลื่อนที่สำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ มาตรวิทยา และเลเซอร์ทั่วโลก และช่วยพัฒนาอุตสาหกรรมที่มีความแม่นยำพิเศษ-